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高精度測量：在測量精度方面，MPO 表現(xiàn)。在 0 - 50μm 測量范圍內(nèi)，誤差控制在 ±1μm；50 - 1000μm 時，誤差≤±2%；1000 - 2000μm 區(qū)間，誤差≤±3%。重復精度在 0 - 100μm 為 ±0.5μm，＞100μm 時為 ±0.5%。如此高精度的測量性能，能夠滿足眾多對涂層厚度精度要求嚴苛的行業(yè)需求。

小尺寸測量能力：最小測量面直徑可達 Φ4mm（在允許誤差 < 10% 時，為 Φ2mm），最小測量曲率在精度范圍內(nèi)，鐵基為 ρ35mm，非鐵基為 ρ50mm；在允許誤差 < 10% 時，鐵基可低至 ρ10mm，非鐵基為 ρ2mm。這使得 MPO 能夠?qū)σ恍┚哂袕碗s形狀和小尺寸的工件進行精確測量，擴大了其應(yīng)用范圍。

薄基體測量適應(yīng)性：對于薄基體材料，MPO 同樣具備良好的測量能力。在鐵基材料上，可測量的最薄基體厚度為 0.2mm（誤差小于 10% 時）；非鐵基材料為 90μm（誤差小于 10% 時）。這一特性使其在處理一些特殊材料或?qū)w厚度有嚴格要求的測量任務(wù)中具有明顯優(yōu)勢。